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    半導體潔凈室
      亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
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